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低频振动信号监测
摘要：
问题： 我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号，以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声，高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择，但是86型加速度计只能够测量到mg级（10-3g）振动，而我们的要求是达到μg级（1...
低频振动信号监测
下载量：62
创建时间： 2019-07-16 10:29:12
分类：Endevco-Ask The EXPERT
关键词：
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摘要：
问题： 我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号，以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声，高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择，但是86型加速度计只能够测量到mg级（10-3g）振动，而我们的要求是达到μg级（1...
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问题： 我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号，以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声，高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择，但是86型加速度计只能够测量到mg级（10-3g）振动，而我们的要求是达到μg级（1...
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