深圳市冠标电子技术有限公司
冠标科技官网 | 专注传感测试测量解决方案20年
搜索
搜索

技术专栏

全部分类
/
/
/
低频振动信号监测

低频振动信号监测

  • 分类:专家答疑
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2016-08-29 00:00
  • 访问量:19

【概要描述】问题:我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号,以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声,高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择,但是86型加速度计只能够测量到mg级(10-3g)振动,而我们的要求是达到µg级(10-6g)振动。对此你有什么建议么?回答:Endevco®86型加速度计

低频振动信号监测

【概要描述】问题:我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号,以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声,高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择,但是86型加速度计只能够测量到mg级(10-3g)振动,而我们的要求是达到µg级(10-6g)振动。对此你有什么建议么?回答:Endevco®86型加速度计

  • 分类:专家答疑
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2016-08-29 00:00
  • 访问量:19
详情

问题:

我们正在监测半导体光刻设备内部的极低频振动信号,以保证精确的印刷复制。我们选择使用Endevco®的86型集成电路压电式加速度计因其具有低噪声,高灵敏度和近DC响应能力。虽然我们认为这是对我们应用来说最佳选择,但是86型加速度计只能够测量到mg级(10-3g)振动,而我们的要求是达到µg级(10-6g)振动。对此你有什么建议么?

回答:

Endevco® 86型加速度计的灵敏度为10V/g,这相当于10mV/mg或10μV/μg。当测量低至μg的水平,该加速度计的输出信号在μV范围内,由于存在环境噪声,因此直接测量是不切实际的。为了获得一个更高的可控输出信号,我们需要将输出信号至少放大50倍,并保证环境噪声水平无明显增加。86型加速度计具有极低的噪声,可以将其信号进行放大。图1所示为一个增益为50的低噪声放大器,也为86型加速度计提供所需的2 mA恒流源供电,该电路是专为这种应用环境设计的,并且具有许多成功安装的现场验证实例。使用电源供电确保没有引入额外在线噪声,因此建议使用电池供电。因为增益为50,所得到的灵敏度为0.5mV/μg,可达到可控的水平。由放大器引入的运放噪声是约为90 nV/P-P。

图1(注:C1和C2的单位是微法拉)

如果需要可单独针对应用定制增益,可由比率C1 / C2进行计算。按照下面的公式计算,放大器的-3 dB低频截止频率是0.00156Hz。-3 dB高频截止频率是位于100kHz的区域内,这远远超出了低频应用的必需水平。因此,Endevco® 86型压电式加速度计非常适合于这种半导体光刻设备的测量应用。

扫二维码用手机看

感谢您对冠标科技的关注与支持

您可以扫描二维码关注微信公众号了解实时动态,或点击以下按钮在线留言?

深圳市冠标电子技术有限公司

Copyright©2019 冠标科技有限公司 版权所有  粤ICP备05058525号   网站建设:中企动力 深圳

分享到:
深圳市冠标电子技术有限公司
深圳市冠标电子技术有限公司
深圳市冠标电子技术有限公司

TEST